每小時5噸超純水設備用于清洗多晶硅，水源為自來水，進水量：9.2m³/h， 產水量：5m³/h，產水要求：≥16MΩ.cm，電導率為0.06us

二、工藝流程

三.  工藝說明

     本工藝以常規(guī)制水流程為主設計，如用戶有特殊要求可另行提出。

四.   設備組成

1．   原水箱（5m³, PE）

規(guī)格：D·H=1740×2490 mm

2.     供水泵

型號：CHL8-50

數量：2臺（一用一備）

材質：不銹鋼

功率：2.2Kw

備注：主要用于輸送自來水預處理系統, 備用泵同時做反沖洗泵使用。

3.    多介質過濾器

數量：1臺

材質：玻璃鋼

控制方式：全自動控制，能夠自動清洗反沖

規(guī)格尺寸：D·H=750×1800mm

備注：主要去除自來水中的顆粒物質它可以濾除肉眼可見的顆粒及雜質，保證出水水質SDI（污染指數）小于等于3                                    

4.   活性炭吸附塔

數量：1臺

材質：玻璃鋼

控制方式：全自動控制，能夠自動清洗反沖

規(guī)格尺寸：D·H=900×1800mm

備注：活性炭過濾器是吸附多介質過濾器無法去除的余氯，以防止反滲透膜受其氧化降解，同時還吸附小分子等污染物質，進一步RO進水的SDI值及濁度。

5.   軟化器(1臺, 配阿祖圖控制頭)

規(guī)格: D·H=750×1800mm

自動控制， 含再生用的鹽箱。                                        

6.   加藥裝置(1套)

在軟化后的水中加入一定量的NaOH，使水中殘留的CO₂轉化成重碳酸根，能被后續(xù)的RO脫除掉。 (835mg/min)                                     

7.  10μ精密過濾器（1臺，UPVC體）

規(guī)格尺寸：D·H=259×1200mm

有效過濾粒徑大于10um的小顆粒，從而延長膜的使用期限。

8.  5μ精密過濾器（1臺，UPVC體）

規(guī)格尺寸：D·H=259×1200mm

   作用是截留大于5um的顆粒進入反滲透，這種顆粒經高壓泵加速后，可能擊穿反滲透膜，造成系統脫鹽率，同時高速顆粒可劃傷高壓泵的葉輪。

9. RO-EDI主機

進水量：9.2 m³/h；RO產水量：5.5 m³/h；EDI產水量：5 m³/h

RO回收率：60%；運行壓力：10bar； EDI回收率90%；運行壓力0.6bar

系統主要配置：

1．美國陶氏膜元件：BW30HRLE-400 膜元件 4支

2．美國通用公司E-cell---MK-3的EDI模塊2塊及穩(wěn)壓電源

3．RO泵：

型號：CDL8-18泵（運行流量10m³/h，揚程146米，功率：7.5KW）數量：1臺

4．EDI供水泵：

型號：CHL8-40

功率：1.5KW

數量：1臺

5．保安過濾器

   規(guī)格尺寸：D·H=259×700mm

6．電導率儀和純水電阻率儀（各1塊）

7．日本進口-歐姆龍PLC控制

8．系統采用不銹鋼機架和不銹鋼電控箱，主要管路U-PVC材料。

9．面板流程顯示

系統性能介紹：

1.）RO具有高低壓保護控制，保護了膜組件。

  2.）中間水箱配有高低液位控制開關，液位下降到警戒水位，RO自動開啟；液位上升到警戒水位，RO自動停機。

3.） RO停機后，可用產品水進行自動清洗�？蛇M行藥液循環(huán)清洗。

4.）進入EDI系統的水能夠實現：達到進水要求允許EDI啟動開機制水；進水超標將自動排放。

5.）EDI系統產水如超標，系統將自動予以排放，直到滿足產水滿足要求，方自動送入純水箱。

10.       中間水箱(5m³)

材質：PE

規(guī)格：D·H＝1740×2490mm                                                    

11．   拋光混床

材質：玻璃鋼

  規(guī)格尺寸：D·H=450×1800mm

采用精拋樹脂，保證產水達到16MΩ.cm 接近18MΩ.cm

12．    氮封純水箱（5m³）

規(guī)格：D·H＝1740×2490 mm

材質：PE

配置氮封裝置，需要配合氮氣罐。

13．    連接管道

系統間連接，EDI后采用優(yōu)質U-PVC管道材料

五.  設備清單及報價